我廠某高新產品基座需作平面度，該平面與大地有一75°的傾角，傳統上，我廠大平面測量平面度用拉鋼絲或平面掃描儀的辦法，因撓度和人為誤差的影響，拉鋼絲測量結果精度太低，平面掃描儀只能作接近水平的平面度，故這兩種傳統方法都無法測量。后來采用瑞典EASY-LASER™激光幾何測量系統，方法簡單，測量精度高，為該高新產品如期高質量的完成打下良好的基礎。現將該方法作一介紹。

1.測量原理

采用激光的直線性（無撓度）的特性，將一旋轉激光發射器放置在被測平面任一角，調整后將其激光掃過一個90度范圍的平面，另有一高精度（0.001mm）接受器 依次按工藝要求在被測平面的分布點上，讀取每一個位置相對于激光平面垂直于平面方向上的偏移量。在主機里將這些數據記錄后，按工藝要求選擇三點作為基準，這樣，其他點的偏差量就會計算出來。

2.軟件數據處理

大量的被測數據經主機處理后，可根據不同工藝要求得出相應的結果，如：

NumRef       Value

X1 Y1Ref      0.000  

X1 Y2        -0.070

X1 Y3      0.407

X1 Y4        -0.055

X1 Y5Ref      0.000

X2 Y1      0.136

X2 Y2      0.202

X2 Y3      0.291

X2 Y4      0.052

X2 Y5     -0.181

X3 Y1      0.348

X3 Y2      0.294

X3 Y3      0.069

X3 Y4      0.096

X3 Y5Ref      0.000

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Max         0.407

Min         -0.181

Peak-Peak     0.588

Average level  0.106

Standard dev.  0.139

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Flatness Rms      0.138

①工藝只加墊片， 則選最高三點為基準，其余數據全為負值，負多少，則加多少墊片。

②工藝只能打磨，則選zui低三點基準，其余數據為正值，正多少，則打磨多少。

③工藝既可加墊片，又可打磨，則可優化自動選三點基準，使其加工量最小。

④關鍵點在中央區，則可選取中央區為基準。

⑤關鍵點在邊緣區，則可選邊緣區為基準。

⑥數據結果有平面度有效值，偏差峰峰值，平均平面，標準等參數供選取。

3.激光測量法的優點

①高精度，該系統可在R≦40m范圍內，保證0.001mm的精度，傳統的方式一般在0.01—0.1mm精度。

②測量范圍大，因激光無撓影響，故可測量R≦40m的平面，而傳統方式，這樣大平面根本無法測試。

③人為誤差小，傳統辦法測量時，不同操作人員因鋼絲松緊、人工讀數等人為因素，數據受人為因素影響較大。而激光測量法由儀器自動讀取數據，人為誤差大大減小。

④*數據處理功能，見二介紹，而傳統方式數據需要人工處理，工作量大，誤差大。

4．與傳統方法比較